INTEGRATED GAS SYSTEM>>اشتراک گذاری سری محصولات IGS
VIGOR سیستمهای گاز یکپارچه پیشرفته (IGS) را ارائه میکند که به طور خاص برای کنترل{0} گاز با خلوص بالا در صنعت تولید نیمهرسانا طراحی شدهاند. راهحلهای ما مهندسی نوآورانه را با استانداردهای سختگیرانه تولید ترکیب میکنند تا از قابلیت اطمینان، فشردهبودن و عملکرد برتر در کاربردهای حیاتی اطمینان حاصل کنند.
ویژگی های محصول
- برای کنترل گاز در صنعت نیمه هادی استفاده می شود
- طراحی مدولار
- تمامی قطعات مطابق با استاندارد SEMl روی سطح نصب می شوند
- اندازه آن حدود 1/3 پانل سنتی است
- مواد استاندارد SEMl، فرآیند الکترو پولیش و جوش مداری
- Wseal و C{0}} مهر و موم اختیاری است
- دو کیسه در اتاق تمیز
- همه محصولات، به جز "براکت"، همه مطابق با مشخصات فرآیند VS001A تولید می شوند
رگولاتورهای فشار IGS سری VIR
1. حداکثر فشار کاری: 150 psig
2. حداکثر دمای کار: -40 درجه فارنهایت ~ 140 درجه فارنهایت (40- درجه ~ 60 درجه)
3. فشار خروجی: 0~100psig
4. پرداخت سطح: حداکثر{1}}uin. Ra
5. جنس: 316L VIM{2}}VAR
6. صندلی سوپاپ: PCTFE (PFA/Vespel اختیاری)
7. ظرفیت جریان: Cv=0.08

شیرهای دیافراگمی IGS سری VID
1. حداکثر فشار کاری: 150 psig
2. حداکثر دمای کار: PCTFE 14 درجه F~176 درجه فارنهایت (-10 درجه ~ 80 درجه)؛ PFA 14 درجه F~302 درجه فارنهایت (-10 درجه تا 150 درجه)
3. بدون طراحی بن بست
4. سطح مرطوب با EP، Max. 5uin درمان می شود. Ra.
5. جنس: 316L VIM{2}}VAR
6. 100% هلیوم-نشت-تست شده است
7. ظرفیت جریان: Cv=0.1

شیرهای کنترل جریان IGS سری VIM
1. حداکثر فشار کاری: 150 psig
2. حداکثر دمای کار: 14 درجه فارنهایت ~ 302 درجه فارنهایت (-10 درجه تا 150 درجه)
3. آب بندی: FKM
4. سطح مرطوب با EP، Max. 5uin درمان می شود. Ra
5. ظرفیت جریان: Cv=0.03

شیرهای چک IGS سری VICV
1. حداکثر فشار کاری: 150 psig
2. حداکثر دمای کار: 14 درجه فارنهایت ~ 176 درجه فارنهایت (-10 درجه تا 80 درجه)
3. پایان سطح: حداکثر. 5uin. Ra
4. فشار ترک خوردگی: 0.33 psig
5. ظرفیت جریان: Cv=0.2

زیرلایه های سری VlB (C-seal)
1. C- مهر و موم
2. نصب غیر ثابت برای اطمینان از اثر آب بندی
3. قسمت مرطوب با EP درمان می شود
4. پرداخت سطح: حداکثر. 5uin.Ra
5. جنس: 316L VIM{2}}VAR

چرا VIGOR IGS را انتخاب کنید؟
سیستم های ما نشان دهنده هم افزایی مهندسی دقیق و طراحی عملی است که ارائه می دهد:
- بهره وری فضا: اندازه پانل به طور چشمگیری کاهش می یابد.
- خلوص فوق العاده-: مواد و فرآیندهای مناسب برای کاربردهای درجه نیمه هادی-.
- انعطاف پذیری مدولار: پیکربندی، گسترش و نگهداری آسان.
- قابلیت اطمینان اثبات شده: آزمایش دقیق و SEMI{0}}انطباق استاندارد.
در VIGOUR، ما چیزی بیش از اجزای ساده ارائه میدهیم-راهحلهای یکپارچهای ارائه میدهیم که ایدههای شما را با اطمینان و دقت زنده میکند.


