INTEGRATED GAS SYSTEM>>اشتراک گذاری سری محصولات IGS

Dec 25, 2025

پیام بگذارید

INTEGRATED GAS SYSTEM>>اشتراک گذاری سری محصولات IGS

 

 

VIGOR سیستم‌های گاز یکپارچه پیشرفته (IGS) را ارائه می‌کند که به طور خاص برای کنترل{0} گاز با خلوص بالا در صنعت تولید نیمه‌رسانا طراحی شده‌اند. راه‌حل‌های ما مهندسی نوآورانه را با استانداردهای سخت‌گیرانه تولید ترکیب می‌کنند تا از قابلیت اطمینان، فشرده‌بودن و عملکرد برتر در کاربردهای حیاتی اطمینان حاصل کنند.

 

Integrated Gas Systems (IGS)

ویژگی های محصول

  • برای کنترل گاز در صنعت نیمه هادی استفاده می شود
  • طراحی مدولار
  • تمامی قطعات مطابق با استاندارد SEMl روی سطح نصب می شوند
  • اندازه آن حدود 1/3 پانل سنتی است
  • مواد استاندارد SEMl، فرآیند الکترو پولیش و جوش مداری
  • Wseal و C{0}} مهر و موم اختیاری است
  • دو کیسه در اتاق تمیز
  • همه محصولات، به جز "براکت"، همه مطابق با مشخصات فرآیند VS001A تولید می شوند

 

رگولاتورهای فشار IGS سری VIR

1. حداکثر فشار کاری: 150 psig

2. حداکثر دمای کار: -40 درجه فارنهایت ~ 140 درجه فارنهایت (40- درجه ~ 60 درجه)

3. فشار خروجی: 0~100psig

4. پرداخت سطح: حداکثر{1}}uin. Ra

5. جنس: 316L VIM{2}}VAR

6. صندلی سوپاپ: PCTFE (PFA/Vespel اختیاری)

7. ظرفیت جریان: Cv=0.08

 

IGS Pressure Regulators (VIR Series)

شیرهای دیافراگمی IGS سری VID

1. حداکثر فشار کاری: 150 psig

2. حداکثر دمای کار: PCTFE 14 درجه F~176 درجه فارنهایت (-10 درجه ~ 80 درجه)؛ PFA 14 درجه F~302 درجه فارنهایت (-10 درجه تا 150 درجه)
3. بدون طراحی بن بست
4. سطح مرطوب با EP، Max. 5uin درمان می شود. Ra.

5. جنس: 316L VIM{2}}VAR
6. 100% هلیوم-نشت-تست شده است

7. ظرفیت جریان: Cv=0.1

 

 

IGS Diaphragm Valves VID Series

شیرهای کنترل جریان IGS سری VIM

1. حداکثر فشار کاری: 150 psig

2. حداکثر دمای کار: 14 درجه فارنهایت ~ 302 درجه فارنهایت (-10 درجه تا 150 درجه)

3. آب بندی: FKM

4. سطح مرطوب با EP، Max. 5uin درمان می شود. Ra

5. ظرفیت جریان: Cv=0.03

 

 

IGS Flow Control Valves VIM Series

شیرهای چک IGS سری VICV

1. حداکثر فشار کاری: 150 psig

2. حداکثر دمای کار: 14 درجه فارنهایت ~ 176 درجه فارنهایت (-10 درجه تا 80 درجه)

3. پایان سطح: حداکثر. 5uin. Ra

4. فشار ترک خوردگی: 0.33 psig

5. ظرفیت جریان: Cv=0.2

 

 

IGS Check Valves VICV Series

زیرلایه های سری VlB (C-seal)

1. C- مهر و موم
2. نصب غیر ثابت برای اطمینان از اثر آب بندی

3. قسمت مرطوب با EP درمان می شود

4. پرداخت سطح: حداکثر. 5uin.Ra

5. جنس: 316L VIM{2}}VAR

Substrates VlB Series (C-seal)

 

سری محصولات اصلی

  • تنظیم کننده های فشار IGS (سری VIR)
  • شیرهای دیافراگمی IGS (سری VID)
  • شیرهای کنترل جریان IGS (سری VIM)
  • شیرهای چک IGS (سری VICV)
  • بسترها و براکت‌های IGS (سری VIB)
  • واشر (سری VIG)
Gaskets (VIG Series)

 

چرا VIGOR IGS را انتخاب کنید؟

 

سیستم های ما نشان دهنده هم افزایی مهندسی دقیق و طراحی عملی است که ارائه می دهد:

  • بهره وری فضا: اندازه پانل به طور چشمگیری کاهش می یابد.
  • خلوص فوق العاده-: مواد و فرآیندهای مناسب برای کاربردهای درجه نیمه هادی-.
  • انعطاف پذیری مدولار: پیکربندی، گسترش و نگهداری آسان.
  • قابلیت اطمینان اثبات شده: آزمایش دقیق و SEMI{0}}انطباق استاندارد.

 

در VIGOUR، ما چیزی بیش از اجزای ساده ارائه می‌دهیم-راه‌حل‌های یکپارچه‌ای ارائه می‌دهیم که ایده‌های شما را با اطمینان و دقت زنده می‌کند.

 

 

ارسال درخواست