VIGOUR>>شریک مورد اعتماد شما برای سیستم های پیشرفته تحویل گاز
در صنایع با{0}فناوری پیشرفته که دقت، خلوص و ایمنی قابل مذاکره نیست، تحویل گاز قابل اعتماد اساسی است. VIGOR سیستم های جامع تحویل گاز را طراحی و تولید می کند که این خواسته های حیاتی را برآورده می کند و از نوآوری و بهره وری در سراسر بخش های تحقیقاتی و تولیدی جهانی حمایت می کند.
قفسه گاز تخصصی
سری VGR
- عرضه ایمن مداوم و بدون وقفه گازهای فله درجه الکترونیکی-.
- عملکردهای تهویه و تصفیه اختیاری، با کاهش فشار ایمنی.
- مونتاژ جوش داده شده اتاق تمیز کلاس 100.
- کنترل اختیاری PLC با رابط ارتباطی که توسط سیستم پلت فرم نظارت هوشمند قابل دسترسی است.
- هشدار فشار بالا / فشار کم با سیگنال های شنیداری و بصری، با قابلیت خاموش شدن اضطراری.
- صفحه نمایش لمسی برای فشار سیلندر و سایر داده ها.
- نوع: قفسه مخصوص کنترل گاز
- جنس: SS 316L برای شیرها و قطعات لوله کشی
- گازهای قابل استفاده: گازهای بی اثر (Ne، Kr، Ar، He و غیره)
- روش تامین گاز: سیلندر گاز
- منبع تغذیه: 110 ~ 240 VAC
- تنظیمات: تک سیلندر،-دو سیلندر
کابینت گاز تخصصی
سری VGC
- نوع: کابینت گاز تخصصی
- جنس: SS 316L برای شیرها و قطعات لوله کشی
- گازهای قابل استفاده: گازهای قابل اشتعال/خودشعله ور، گازهای خورنده، گازهای سمی (مانند SiH4، HCL)
- منبع تغذیه: 110 ~ 240 ولت AC
- محفظه: فولاد جوشی{0}مقاوم در برابر خوردگی
- پنجره شیشه ای: بسته شدن خودکار-
- لوله اگزوز: لوله اگزوز نصب شده در بالا-
- برنامه های کاربردی محصول: دانشگاه/آزمایشگاه های تحقیقاتی; تولید صنعتی; انرژی خورشیدی فتوولتائیک؛ داروسازی و بیوتکنولوژی؛ ساخت مدار مجتمع نیمه هادی
- استانداردهای طراحی: مطابق با استانداردهای SEMI S2. مطابق با قوانین بین المللی ایمنی در برابر آتش سوزی ساختمان؛ حداکثر فشار کاری: 110٪ فشار تست اثبات
مجموعه های استیک گاز
سری VUP
- چوب گاز با خلوص فوق العاده بالا برای تمام سیستم های گازرسانی
100TG: کمتر یا مساوی 30 slpm تحویل 1/4 اینچ VFS
200TG: کمتر یا مساوی 300 slpm تحویل 3/8 اینچ VFS
300TG: کمتر یا مساوی 600 slpm تحویل 1/2 اینچ VFS
- این محصول مطابق با مشخصات فرآیند VS001A ساخته شده است
- دقت کنترل بالا
- تمام اتصالات جوش داده شده یا VFS
- گزینه شیر دیافراگمی دستی یا پنوماتیکی
- 100% هلیوم-نشتی-تست شده است
- فشار ورودی P1: 300psig (20bar)
- فشار خروجی P2: Vac تا 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
- مواد دریچه دیافراگمی: بدنه 316L; صندلی سوپاپ PCTFE; دیافراگم Elgiloy®
- مواد تنظیم کننده: بدنه 316L/316L ذوب مجدد ثانویه؛ صندلی سوپاپ PCTFE; دیافراگم Hastelloy®
- نرخ نشت: (به اتمسفر) 1x10^-9 mbar I/s He;
(از طریق صندلی) 1x10^-8 mbar I/s H
تابلوهای کنترل فشار
سری VUP-1U
- پانل های کنترل فشار (نوع یک طرفه)
- رگولاتور تک مرحله ای سری VSR-100UBS/UCS
- شیرهای دیافراگم هواکش سری VDV33UBS
- شیرهای دیافراگمی فرآیند ورودی سری VDV33UBS
- اتصالات مهر و موم VFS{0}}جوش شده مداری
- طراحی مدولار
- مناسب برای فشار ورودی تا 3500 psig (250bar)
- نصب آسان در کابینت ایمنی سیلندرهای گاز
- 100٪ نشت هلیوم آزمایش شده است
- فشار ورودی P1: حداکثر 3500psig (250bar)
- فشار خروجی P2: Vac تا 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10 bar)
- پرداخت سطح: 10uin. Ra (25uin. Ra اختیاری)
- ورودی و خروجی: اتصال VFS 1/4 اینچی
- محدوده دما: -40 درجه فارنهایت تا +160℉ (-40 درجه تا +71 درجه)
- ظرفیت جریان: Cv=0.09 (گزینه Cv=0.15)
برای تعالی و ایمنی طراحی شده است
هر سیستم تحویل گاز VIGOR با تعهد به بالاترین استانداردها توسعه یافته است:
- طراحی و انطباق:محصولات با SEMI S2 و کدهای ایمنی آتشسوزی بینالمللی مطابقت دارند و ویژگیهای ایمنی مانند خاموش شدن اضطراری-و هشدار فشار یکپارچه شده است.
- خلوص ساخت:مونتاژ و جوشکاری مداری در یک محیط اتاق تمیز کلاس 100، با استفاده از مواد{1} با یکپارچگی بالا مانند SS 316L و Hastelloy® C276 برای اطمینان از تمیزی و طول عمر سیستم انجام می شود.
- صداقت تایید شده:هر واحد تحت آزمایشهای دقیق نشت 100% هلیوم قرار میگیرد که نشت-عملکرد محکمی را تضمین میکند.
