VIGOR Product Express|سوئیچ جریان سری VEFS2

صنعت نیمه هادی ها با هدایت هوش مصنوعی، محاسبات با کارایی بالا (HPC)، الکترونیک خودرو، و برنامه های کاربردی اینترنت اشیا، به سرعت در حال تحول است. با این حال، این رشد چشمگیر چالش های عملیاتی جدیدی را نیز مطرح کرده است. همانطور که مقیاس های تولید با سرعت بی سابقه ای گسترش می یابد، گازهای ویژه پرخطر مانند سیلان و فسفین به طور گسترده در کارخانه های نیمه هادی استفاده می شوند. هر گونه نشت کنترل نشده گاز ناشی از پارگی خط لوله، شل بودن اتصالات، خرابی آب بندی یا نصب نادرست می تواند به سرعت به یک حادثه ایمنی شدید تبدیل شود، ایمنی پرسنل را تهدید کند، به تجهیزات حیاتی تولید آسیب برساند و باعث خرابی برنامه ریزی نشده پرهزینه شود. در این زمینه، سوئیچ جریان اضافی VIGOUR (EFS)، با طراحی محرک مکانیکی کاملاً و سازگاری فوق العاده{5}}خوص- (UHP) استثنایی، به یک محافظ ایمنی ضروری برای سیستم‌های تامین گاز ویژه، از جمله کابینت‌های گاز و VMB‌ها، در صنعت نیمه‌کانون جهانی تبدیل شده است.

اصل طراحی اصلی VIGOR EFS تشخیص شرایط جریان غیرعادی و پاسخگویی قابل اعتماد است. هنگامی که خرابی خط لوله پایین دست منجر به افزایش ناگهانی و بیش از حد جریان می شود که از نقطه سفر بحرانی از قبل تنظیم شده فراتر می رود، دستگاه بلافاصله یک سیگنال پاسخ را راه اندازی می کند. این سیگنال از طریق باز یا بسته شدن کنتاکت‌های الکتریکی در سوئیچ داخلی-رید منتقل می‌شود، که سپس هماهنگ شده و به سیستم SCADA یا سیستم نظارت بر گاز (GMS) ارسال می‌شود. با ارائه هشدارهای زمانی واقعی و فعال کردن پاسخ‌های خودکار سریع، از مدیریت ایمنی پیشگیرانه پشتیبانی می‌کند، به طور موثر خطرات احتمالی را کاهش می‌دهد و قابلیت اطمینان کلی شبکه تحویل گاز را تقویت می‌کند.

در فرآیندهای تولید نیمه هادی، هر جزء در سیستم گاز می تواند به منبع بالقوه آلودگی تبدیل شود. حتی ذرات ریز، ناخالصی های فلزی یا جذب سطحی می توانند کیفیت ویفر را به خطر بیندازند و بازده تولید را کاهش دهند. بنابراین، VIGOR به شدت به استانداردهای سختگیرانه صنعت نیمه هادی برای اطمینان از خلوص مواد، تمیزی سطح و پایداری عملیاتی پایبند است.

از نظر استانداردهای مواد، VIGOR به طور انحصاری از فولاد ضد زنگ 316 لیتری تولید شده از طریق فناوری ذوب دوبل{1}VIM/VAR استفاده می‌کند. این فرآیند متالورژیکی پیشرفته به طور قابل توجهی اجزای فلزی و ناخالصی های باقیمانده را کاهش می دهد، مقاومت در برابر خوردگی عالی را تضمین می کند و خطر آلودگی گاز را به حداقل می رساند. برای عملیات سطحی، تمام محصولات تحت الکتروپولیش پیشرفته (EP) قرار می‌گیرند و زبری سطح داخلی 5-10 میکرون را حفظ می‌کنند. چنین فضای داخلی صاف و تمیزی از جذب مولکول‌های گاز به دیواره‌های داخلی جلوگیری می‌کند و رسوب ذرات را از بین می‌برد و از انتقال گاز پایدار و{7}}رایگان پشتیبانی می‌کند.

علاوه بر این، VIGOR EFS طیف گسترده‌ای از نقاط سفر حیاتی و گزینه‌های پیکربندی انعطاف‌پذیر را برای مطابقت با سناریوهای مختلف برنامه ارائه می‌دهد. از طریق تطبیق ساده پارامترها، کاربران به راحتی می توانند مدل دقیق را بر اساس انواع گازهای خاص، شرایط فشار عملیاتی و حداکثر دبی مجاز تعیین کنند. این درجه بالای سفارشی‌سازی، حفاظت دقیق و مطمئن بیش از-جریان را برای کاربردهای مختلف گاز با خلوص فوق‌العاده{{3}بالا-در ساخت نیمه‌رساناهای مدرن تضمین می‌کند.

  سوئیچ جریان برای کاربردهای با جریان بالا

 با خط اصلی افقی یا عمودی موجود است

 حداقل افت فشار از طریق دستگاه

 فولاد ضد زنگ SS 316L