بینش صنعت|خلوص گاز در تولید نیمه هادی چقدر مهم است؟

یک اجماع ثابت-در تولید نیمه هادی ها حاکم است: حد بالای عملکرد تراشه با طراحی مشخص می شود، در حالی که حد پایین بازده تولید به خلوص مواد بستگی دارد.

منبع تصویر از اینترنت است.

از تمیز کردن ویفر و رسوب لایه نازک- گرفته تا اچ و دوپینگ، فرآیند تولید یک ویفر 12{4}} اینچی شامل بیش از 30 نوع گاز فرآیندی از جمله سیلان، آمونیاک، تری فلوراید نیتروژن، هگزافلوراید تنگستن، کلرید هیدروژن و غیره است. هر گاز باید با خلوص فوق العاده بالا به محفظه واکنش تحویل داده شود.

ردیابی ناخالصی‌ها در سطح ppb (رطوبت، اکسیژن، ذرات معلق) که وارد لوله‌کشی گاز می‌شوند می‌توانند باعث ایجاد نقص‌های لایه نازک-و آلودگی سطحی شوند و مستقیماً بازده تولید را کاهش دهند. با در نظر گرفتن فرآیند 3 نانومتری به عنوان مثال، هر تراشه جداگانه صدها دلار آمریکا ارزش دارد. فقط یک درصد نوسان در بازدهی برای پاک کردن سود ده ها میلیونی کافی است.

در صنعت نیمه هادی، "خلوص بالا" معادل "آماده{0}فرایند" نیست. چالش واقعی در حفظ خلوص - نگهداری گاز بدون آلودگی-در کل مسیر تحویل از منبع گاز تا نقطه استفاده (POU) نهفته است.

برای دستیابی به این هدف، سه محافظ اصلی در کنار هم کار می کنند:

(1) انتخاب مواد: لوله ها و بدنه سوپاپ ها از فولاد ضد زنگ 316L دوبار ذوب شده VIM+VAR ساخته شده اند تا خروج گاز از مواد پایه را به حداقل برساند.

(2) تکمیل سطح: زبری سطح داخلی Ra کمتر یا برابر با 0.25 میکرومتر (10 میکرون) با درمان الکتروپولیش (EP) برای کاهش چسبندگی ذرات و جذب رطوبت.

(3) یکپارچگی آب بندی هرمتیک: نرخ نشت هلیوم کمتر یا مساوی 1×10-4 atm·cc/sec برای جلوگیری از ورود آلودگی خارجی به طور کامل.

VIGOR VUPS Ultra{0}}خط تولید با خلوص بالا، زنجیره کامل تحویل گاز مطابق با استانداردهای SEMI را پوشش می‌دهد، از جمله اتصالات مهر و موم صفحه فلزی VCR، شیرهای دیافراگمی با خلوص بالا-و تنظیم‌کننده فشار دو مرحله‌ای.

همه محصولات مونتاژ می‌شوند، آزمایش می‌شوند و قبل از ارسال در اتاق‌های تمیز کلاس 100 بسته‌بندی می‌شوند و-وکیوم کیسه‌ای دوگانه- بسته‌بندی می‌شوند. چیزی که مشتریان دریافت می‌کنند صرفاً دریچه‌های جداگانه نیست، بلکه یک سیستم تضمین خلوص بالا-و-فوق‌العاده-پخش کامل است.

محصولات VIGOR در سیستم‌های ویژه تحویل گاز و خطوط لوله تامین گاز CVD/PVD در کارخانه‌های ویفر متعدد، سازگار با گازهای فرآیند حیاتی مانند سیلان، تری فلوراید نیتروژن و تری کلرید بور به‌طور قابل اعتمادی کار می‌کنند.

تولید نیمه هادی یک مسابقه بی پایان در برابر آلاینده ها است - و ماموریت VIGOUR اطمینان از تمیزترین خط شروع ممکن برای این مسابقه است.